15:45 〜 16:00 [11p-Z02-11] スパッタ法アニール処理AlN上GaN薄膜のMOVPE成長 〇(M2)白土 達也1、上杉 謙次郎2、窪谷 茂幸2、正直 花奈子1、三宅 秀人1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)