11:15 〜 11:30 [8a-Z05-9] 化学気相成長法により成膜した窒素含有非晶質炭素薄膜の電気特性におけるプラズマ周波数の影響 〇(M1)河上 瑛彦1、本間 章彦1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電大)