14:15 〜 14:30 [10p-Z09-7] プラズマ酸化とウェットエッチングにより改質したSiC表面上へのグラフェンの形成と評価 〇越智 諒1、南 映希1、佐野 泰久1、川合 健太郎1、山村 和也1、有馬 健太1 (1.阪大院工)