11:15 〜 11:30 △ [10a-Z04-7] N極性GaN HEMT構造での無電極PECエッチング 〇(M2)青田 智也1、早坂 明泰1、眞壁 勇夫2、吉田 成輝2、後藤 高寛1、宮本 恭幸1 (1.東工大工、2.住電)