09:00 〜 09:15
〇野田 周一1、居村 史人1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業)
野田 周一
発表者・著者、共著者
2020年9月10日(木) 08:45 〜 11:30 Z10
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年9月10日(木) 08:45 〜 11:30 Z10
09:00 〜 09:15
〇野田 周一1、居村 史人1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業)