14:45 〜 15:00 [11p-Z02-8] サファイア基板上へのスパッタ法を用いたh-BNの堆積と高温アニールによる結晶性向上 〇(M2)形岡 遼志1、小泉 晴比古2、岩山 章1、三宅 秀人1,3 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大地創戦略企、3.三重大院工)