11:00 〜 11:15 [10a-Z10-9] 微粒子を減らすためのチェンバー圧力制御 〇根本 一正1、谷島 孝1、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)