14:00 〜 14:15 [9p-Z25-5] He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価 〇山本 雅史1、秋田 航希1、長岡 史郎1、大平 圭介2、梅本 宏信3,4、堀邊 英夫4 (1.香川高専、2.北陸先端大、3.静大、4.大阪市大)