09:30 〜 09:45
〇古賀 和博1、加瀬 雅2、佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
古賀 和博
発表者・著者、共著者
2020年9月10日(木) 08:45 〜 11:30 Z10
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年9月10日(木) 08:45 〜 11:30 Z10
09:30 〜 09:45
〇古賀 和博1、加瀬 雅2、佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)