綿貫了太

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発表者・著者、共著者

2020年9月10日(木) 12:30 〜 17:30 Z05

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.4 薄膜新材料

[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

13:30 〜 13:45

[10p-Z05-5] アセチレン-N₂-Ar混合気体の高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の合成と構造解析

〇(M1)綿貫了太¹、伊藤治彦¹ (1.長岡技術科学大学)