16:00 〜 16:15
〇(M2)河北 竜治1、花房 宏明2、水川 友里2、東 清一郎2 (1.広大院先端研、2.広大院先進理工)
河北 竜治
発表者・著者、共著者
2020年9月10日(木) 12:30 〜 17:30 Z10
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年9月10日(木) 12:30 〜 17:30 Z10
16:00 〜 16:15
〇(M2)河北 竜治1、花房 宏明2、水川 友里2、東 清一郎2 (1.広大院先端研、2.広大院先進理工)