16:30 〜 16:45 △ [10p-Z10-14] 100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討 〇(M2)市川 崇志1、渥美 賢1、古賀 達也1、飯田 慎一2、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1、伊藤 浩之1 (1.東工大、2.NTT-AT)