17:00 〜 17:15
〇渡部 善幸1、加藤 睦人1、矢作 徹1、村山 裕紀1、吉田 賢一2、指田 和之2、池田 克弥2、池田 康亮2、竹森 俊之2 (1.山形工技センター、2.新電元)
渡部 善幸
発表者・著者、共著者
2020年9月10日(木) 12:30 〜 17:30 Z10
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年9月10日(木) 12:30 〜 17:30 Z10
17:00 〜 17:15
〇渡部 善幸1、加藤 睦人1、矢作 徹1、村山 裕紀1、吉田 賢一2、指田 和之2、池田 克弥2、池田 康亮2、竹森 俊之2 (1.山形工技センター、2.新電元)