09:00 〜 09:15 [11a-Z27-3] 直接接合に向けたスパッタNb薄膜の表面分析に関する研究 〇高橋 悠太1、藤野 真久2、仲川 博2、青柳 昌宏2、菊地 克弥2、明蓮 広昭1、成瀬 雅人1、田井野 徹1 (1.埼玉大院、2.産総研)