伊藤智子

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発表者・著者、共著者

2020年9月11日(金) 13:30 〜 16:15 Z03

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-Z03-3~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

15:15 〜 15:30

[11p-Z03-9] 遷移金属におけるβジケトンによるサーマルエッチング表面反応解析

〇伊藤智子¹、唐橋一浩¹、浜口智志¹ (1.阪大院工)