11:15 〜 11:30 [8a-Z02-9] スパッタ法と高温アニールで作製した−c/+c AlN薄膜の電子線回折による極性判定 〇林 侑介1、野本 健斗1、濱地 威明1、藤平 哲也1、三宅 秀人2,3、五十嵐 信行4、酒井 朗1 (1.阪大院基礎工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ、4.名大IMaSS)