11:30 〜 11:45 △ [8a-Z09-10] Ta/TaN化学結合状態と熱抵抗との相関 〇竹内 悠希1、横川 凌1,2、西原 達平1、詹 天卓3、渡邉 孝信3、小椋 厚志1,2 (1.明治大理工、2.再生可能エネルギー研究インスティテュート、3.早稲田大理工)