13:30 〜 13:45 △ [8p-Z17-3] スパッタリング法で室温合成した(Al1-xScx)N膜の強誘電性評価 〇(M2)安岡 慎之介1、清水 荘雄1,2、上原 雅人3、山田 浩志3、秋山 守人3、舟窪 浩1 (1.東工大、2.物材研、3.産総研)