09:30 〜 09:45 [9a-Z02-2] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上へのDUV-LED作製(2) 〇上杉 謙次郎1、王 丁2、手銭 雄太1、肖 世玉2、正直 花奈子3、窪谷 茂幸1、三宅 秀人2,3 (1.三重大地創戦略企、2.三重大院地域イノベ、3.三重大院工)