16:45 〜 17:00 [9p-Z20-13] Mist CVD法を用いたα-(AlGa)2O3混晶成長におけるアセチルアセトナート錯化の影響 〇太田 茉莉香1、宇野 和行1、田中 一郎1 (1.和歌山大システム工)