[11p-Z03-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

2020年9月11日(金) 12:30 〜 13:30 Z03

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

12:30 〜 13:00

[11p-Z03-1] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 絶縁膜原子層エッチングにおける加工特性の定量考察

〇久保井信行¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社)

13:00 〜 13:30

〇大村光広¹、橋本惇一¹、足立昂拓¹、近藤祐介¹、石川勝朗¹、阿部淳子¹、酒井伊都子¹、林久貴¹、関根誠²、堀勝² (1.キオクシア、2.名大工)