[10a-Z02-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [10a-Z02-5] ミスト供給法を用いたAlInN層の熱酸化の低温化

〇(M1)松本 浩輝¹、岩山 章¹、小出 典克¹、小田原 麻人¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、岩谷 素顕¹、丸山 隆浩¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大理工、2.名古屋大・赤崎記念センター)

キーワード：半導体, AlInN, 酸化