[10a-Z03-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[10a-Z03-5] 誘電体バリア放電大気圧プラズマによる鋼表面の窒化

〇大川 博司¹、佐藤 史希¹、秋津 哲也^2,1 (1.HSU、2.山梨大学)

キーワード：大気圧プラズマ, 窒化

真空装置を必要としない大気圧プラズマ窒化装置を開発した。この装置は、誘電体バリア放電で生成した大気圧プラズマ中での窒化処理を行うものである。ベースとなるガスはヘリウムであり、それに微量の窒素ガスを混合した。電源周波数は13.56MHzである。処理対象物としてはSUS430のプレートを用いた。プレートは、プラズマ中にセットしたセラミックヒーターの上に載せる。プレートは約700℃に加熱される。2時間処理した結果、サンプルの表面硬度は処理前のHV160から、部分的ではあるが最大HV860まで上げることができた。