[10a-Z05-1~11] 6.4 Thin films and New materials

[10a-Z05-7] ITO transparent conductive film prepared by a microwave heating for a dye sensitized solar cell

〇Kanta Naito¹, Kosuke Suzuki¹, Masayuki Okuya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:microwave heating, ITO, dye-sensitized solar cell

透明導電膜はスパッタ法やCVD法で作製されるが、これらの製法は長時間を要する。そこで本研究室では、急速加熱による短時間焼成が可能なマイクロ波加熱法を用いた製膜を検討してきた。今回、この手法を利用してガラス基板上へITO膜を作製した。さらに同法により、このITO膜上へ多孔質TiO₂層を積層し、これを色素増感太陽電池へ応用した。