[10a-Z05-1~11] 6.4 薄膜新材料

[10a-Z05-7] マイクロ波照射下における自己発熱を利用したITO透明導電膜の作製と色素増感太陽電池への応用

〇内藤 貫太¹、鈴木 康介¹、奥谷 昌之¹ (1.静岡大院工)

キーワード：マイクロ波加熱, ITO, 色素増感太陽電池

透明導電膜はスパッタ法やCVD法で作製されるが、これらの製法は長時間を要する。そこで本研究室では、急速加熱による短時間焼成が可能なマイクロ波加熱法を用いた製膜を検討してきた。今回、この手法を利用してガラス基板上へITO膜を作製した。さらに同法により、このITO膜上へ多孔質TiO₂層を積層し、これを色素増感太陽電池へ応用した。