[10a-Z10-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10a-Z10-10] ミニマルファブを活用したダイヤモンドSBDの試作と評価(II)

〇渡辺 幸志¹、根本 一正¹、谷島 孝¹、野田 周一¹、居村 史人¹、Mickael Lozach¹、梅澤 仁¹、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：ダイヤモンド, 化学機械研磨, ミニマルファブ