[10a-Z29-1~14] 17.3 層状物質

[10a-Z29-3] RFマグネトロンスパッタ法及び硫化法を用いたSnSのエピタキシャル成長

〇滝沢 康太¹、金 冑男^1,2、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：硫化スズ, エピタキシャル, スパッタ