[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [10p-Z05-11] Ag合金透明導電膜の下地酸化物層による耐塩水性発現メカニズムの解析

〇大谷 智博¹、歳森 悠人¹、野中 荘平¹ (1.三菱マテリアル（株）)

キーワード：透明導電膜, Ag合金, 耐食性

透明酸化物 / Ag合金 / 透明酸化物の薄膜積層体からなる透明導電膜について、下地層酸化物によるAgの塩水中の腐食耐性（耐塩水性）発現の機構を解析した。下地層酸化物によりAg合金の結晶成長が促進される際、耐塩水性が向上する事を明らかにし、その詳細な機構を解析した。当知見に基づいて独自の下地層酸化物を開発し、高い耐塩水性を具備した積層膜を得た。