[10p-Z05-1~19] 6.4 Thin films and New materials

△ [10p-Z05-19] Solid state crystallization of titanium oxide thin films, and modification of their optical and electric properties by post-depositional uniaxial compressive annealing

〇(M2)Takahiro Ikuta¹, Shohei Hisatomi¹, Tomoaki Oga¹, Kaneko Satoru^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:uniaxial compressive annealing, titanium oxide, epitaxial

酸化チタンは、Tiが2〜4価までの価数を示すTiOやTiO₂さらには非化学量論組成など様々な酸化状態が存在する。我々はこれまでに、酸化チタンと同様に多くの非化学量論組成をもつ酸化バナジウムへの一軸加圧熱処理(UCA)より相選択的かつ可逆的な固相エピタキシーを報告してきた。本研究ではエピタキシャルTi_xO_y薄膜の結晶相制御とその物性探索を目的として、Ti_xO_yのエピタキシャル薄膜合成とUCAが結晶構造および電気特性に及ぼす影響を検討した。