[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [10p-Z05-19] 一軸加圧熱処理による酸化チタン薄膜の固相結晶化と光学･導電特性変化

〇(M2)生田 貴大¹、久富 翔平¹、大賀 友瑛¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：一軸加圧熱処理, 酸化チタン, エピタキシャル

酸化チタンは、Tiが2〜4価までの価数を示すTiOやTiO₂さらには非化学量論組成など様々な酸化状態が存在する。我々はこれまでに、酸化チタンと同様に多くの非化学量論組成をもつ酸化バナジウムへの一軸加圧熱処理(UCA)より相選択的かつ可逆的な固相エピタキシーを報告してきた。本研究ではエピタキシャルTi_xO_y薄膜の結晶相制御とその物性探索を目的として、Ti_xO_yのエピタキシャル薄膜合成とUCAが結晶構造および電気特性に及ぼす影響を検討した。