[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

[10p-Z05-6] 大気開放型CVD法で得られたセラミックス薄膜の酸水素炎を用いた熱拡散率測定の試み

〇本田 秀理¹、淡 焱鑫¹、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：熱拡散率, セラミックス薄膜, 大気開放型CVD法