[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

[10p-Z05-9] 金属ナノメッシュ構造の作製と電気・光学特性評価

〇宇賀神 舞¹、木場 隆之¹、川村 みどり¹、阿部 良夫¹、金 敬鎬¹、陳 亜鳳²、高山 純一²、樋浦 諭志²、村山 明宏² (1.北見工大、2.北大院情報科学)

キーワード：金属ナノ構造, ナノホール

ナノスフィアリソグラフィ(NSL)法により金属ナノメッシュ構造を作製した。金属ナノメッシュ構造は、規則配列したナノサイズの開口を持つ金属薄膜で、導電性を保ちながら光透過性を兼ね備えた性質を持つ。本研究では、反応性イオンエッチング(RIE)法により開口サイズ変化および周期の異なるメッシュ構造を作製し、その電気・光学的特性の評価を行った。