[10p-Z22-6~18] 1.6 超音波

△ [10p-Z22-11] LiNbO₃同種材料接合構造におけるリーキSAWの伝搬・共振特性

〇(M2)藤巻 貴海¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：漏洩弾性表面波, 同種材料接合, ニオブ酸リチウム

理論解析結果に基づき，5°YX-LN薄板と64°YX-LN支持基板を接合させた同種材料接合試料上のLSAW伝搬特性と共振特性を実験的に評価した．接合試料上，自由表面の伝搬損失は，ある規格化板厚で0.005 dB/λの最小値を示し，64°YX-LN単体よりも一桁小さいことがわかった．同種接合により，64°YX-LN単体の2倍の比帯域幅(8.6%)と5°YX-LN単体よりも大きな共振応答が得られた．