[10p-Z22-6~18] 1.6 超音波

[10p-Z22-12] 水熱合成(K,Na)NbO₃膜の電気機械結合係数の評価

〇吉澤 宗眞¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、伊東 良晴²、舘山 明紀²、舟窪 浩²、若林 剛³ (1.山梨大、2.東工大、3.コイケ)

キーワード：弾性表面波, 基板付き薄膜共振子, 水熱合成法

弾性表面波(SAW)フィルタや圧電薄膜共振子には，高い電気機械結合係数(Kt)，低い伝搬損失を持つ圧電材料が望まれている．本報では，水熱合成法により作製した(K,Na)NbO₃(KNN) 膜を用いて，基板付き薄膜共振子のバルク波応答からKtを評価， KNN膜上に送受すだれ状電極を作製しSAW 伝搬特性を評価した．最大のKtを得るK/(K+Na)比が得られ，Naを含まない場合にはKtが小さくなった．