[10p-Z22-6~18] 1.6 超音波

[10p-Z22-8] 二層構造厚みすべり振動子の厚さ比と共振周波数温度特性の関係

〇大和田 悠介¹、大橋 雄二²、面 政也³、横田 有為¹、黒澤 俊介²、鎌田 圭²、佐藤 浩樹²、豊田 智史²、山路 晃広²、吉野 将生¹、花田 貴¹、吉川 彰^1,2 (1.東北大金研、2.東北大NICHe、3.XMAT)

キーワード：厚みすべり振動子, ランガサイト型圧電単結晶, 温度補償

ランガサイト型圧電単結晶の温度特性改善を目指して、二層構造厚みすべり振動子を開発してきた。二層構造振動子では各共振モードの次数に応じて温度特性が異なる現象がみられた。この現象は通常の単一基板振動子では生じないため、このメカニズムについて検討した。その結果、この現象は基板間の厚さ比が異なる振動子において生じる現象であることを明らかにした。