[10p-Z23-1~16] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[10p-Z23-3] 環状シランを用いたSiC薄膜の成膜

〇中村 昌幸¹、小林 貴之¹、立田 利明¹、本山 愼一¹ (1.サムコ株式会社)

キーワード：SiC, 成膜, 環状シラン

従来、SiC薄膜の成膜はシランやハロゲン系原料を用いて行われてきた。今回、我々はこれらの材料の難点である自然発火性や腐食性がなく、SiとCが1:1に含まれる環状シランを用いてSiCの成膜を試みた。成膜した膜をXRD及びFTIR測定によって評価したところ、SiCが形成されていることが確認できた。またFTIR測定の結果、膜中にSi-H結合がほとんど残留していないことも確認された。