2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[11a-Z09-1~12] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2020年9月11日(金) 08:30 〜 11:45 Z09

太田 健介(キオクシア)、中塚 理(名大)