[11a-Z23-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [11a-Z23-3] 4H-SiCにおけるc軸方向の電子移動度の評価

〇石川 諒弥¹、原 征大¹、金子 光顕¹、木本 恒暢¹ (1.京大院工)

キーワード：SiC, 移動度, Hall効果測定