[11a-Z23-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[11a-Z23-6] CVD成長4H-SiC中Al濃度の(0001)及び(000-1)基板オフ角依存の考察

〇望月 和浩¹、三島 友義¹ (1.法政大)

キーワード：炭化珪素, アルミニウム, 表面拡散