2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[11a-Z23-1~9] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2020年9月11日(金) 09:00 〜 11:30 Z23

星乃 紀博(電中研)

10:45 〜 11:00

[11a-Z23-7] 4H-SiC(0001)表面近傍における炭素空孔の取り込みやすさの解析

中島 響1、醍醐 佳明2、水島 一郎2,3、依田 孝2,3、長川 健太1、白石 賢二1 (1.名大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.東工大未来研)

キーワード:SiC, 炭素空孔