The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

Presentation information

Oral presentation

9 Applied Materials Science » 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

[11a-Z26-1~13] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

Fri. Sep 11, 2020 8:30 AM - 12:00 PM Z26

Kazuki Nagashima(Univ. Tokyo), Fumitaro Ishikawa(Ehime Univ.)

11:00 AM - 11:15 AM

[11a-Z26-10] Selective-area growth of AlInAs nanowires with various Al compositions

Yoshiki Tai1,2, Hironori Gamo1,2, Junichi Motohisa1,2, Katsuhiro Tomioka1,2 (1.Hokkaido Univ., 2.RCIQE)

Keywords:nanowire, SA-MOVPE, III-V compounds semiconductor

本研究では、有機金属気相成長法によるAlInAsナノワイヤの選択成長において、気相中のIII族原料のAl組成と、ナノワイヤの横方向成長の関係を明らかにした。当日は、AlInAs選択成長のAl組成依存性について報告する。