[11a-Z26-1~13] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

△ [11a-Z26-10] Selective-area growth of AlInAs nanowires with various Al compositions

〇Yoshiki Tai^1,2, Hironori Gamo^1,2, Junichi Motohisa^1,2, Katsuhiro Tomioka^1,2 (1.Hokkaido Univ., 2.RCIQE)

Keywords:nanowire, SA-MOVPE, III-V compounds semiconductor

本研究では、有機金属気相成長法によるAlInAsナノワイヤの選択成長において、気相中のIII族原料のAl組成と、ナノワイヤの横方向成長の関係を明らかにした。当日は、AlInAs選択成長のAl組成依存性について報告する。