[11a-Z26-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [11a-Z26-10] 有機金属気相選択成長法によるAlInAsナノワイヤ成長とAl組成依存性

〇田井 良樹^1,2、蒲生 浩憲^1,2、本久 順一^1,2、冨岡 克広^1,2 (1.北大情報科学院、2.量子集積センター)

キーワード：ナノワイヤ, 有機金属気相選択成長, III-V族化合物半導体

本研究では、有機金属気相成長法によるAlInAsナノワイヤの選択成長において、気相中のIII族原料のAl組成と、ナノワイヤの横方向成長の関係を明らかにした。当日は、AlInAs選択成長のAl組成依存性について報告する。