[11a-Z26-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[11a-Z26-11] 熱アニールによるInP/InAsPヘテロ構造ナノワイヤのサイズ制御と発光ダイオード応用

赤松 知弥¹、佐々木 正尋¹、冨岡 克広¹、〇本久 順一¹ (1.北大院情報・量集セ)

キーワード：半導体ナノワイヤ, 発光ダイオード, 量子ドットナノワイヤ

熱アニールにより断面寸法を制御したInP/InAsPヘテロ構造ナノワイヤを用い、発光ダイオードを作製し、その発光特性を評価した。近赤外域領域においてInAsP層に起因する発光を確認した。発光の積分強度は注入電流に比例し、キャリアが効率的にInAsP層に注入されていることが示唆された。