[11a-Z27-1~6] 11.4 アナログ応用および関連技術

[11a-Z27-3] 直接接合に向けたスパッタNb薄膜の表面分析に関する研究

〇高橋 悠太¹、藤野 真久²、仲川 博²、青柳 昌宏²、菊地 克弥²、明蓮 広昭¹、成瀬 雅人¹、田井野 徹¹ (1.埼玉大院、2.産総研)

キーワード：超伝導