[11a-Z29-1~15] 17.3 層状物質

[11a-Z29-13] 低バリアの実現に向けた1T’-MoTe₂と2H-MoTe₂のコンタクト特性の評価

〇謝 天順¹、大内 秀益¹、坂梨 昂平¹、上野 啓司²、青木 伸之¹ (1.千葉大学、2.埼玉大学)

キーワード：MoTe2, コンタクト, ショットキーバリア

MoTe₂が高い on/off比を示すことからフレキシブルな FET デバイス応用が期待されている。金属を蒸着してコンタクトをとるとフェルミレベルピンニングが生じ、デバイスの性能に深刻な影響を与えることから、低バリアの実現に向けた1T’-MoTe₂と2H-MoTe₂のコンタクト特性を注目して、より良い性能を得られるように研究を行っている。