[11p-Z03-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[11p-Z03-1] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 絶縁膜原子層エッチングにおける加工特性の定量考察

〇久保井 信行¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社)

キーワード：原子層エッチング, 絶縁膜, シミュレーション