[11p-Z04-1~14] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-Z04-5] ベータ型 (AlGa)₂O₃チャ ネル電界効果トランジスタ

〇奥村 宏典¹、加藤 勇次²、大島 孝仁²、Palacios Tomas³ (1.筑波大、2.佐賀大、3.MIT大)

キーワード：酸化ガリウム, パワーデバイス, トランジスタ