[11p-Z05-1~15] 8.5 Plasma phenomena, emerging area of plasmas and their new applications

[11p-Z05-14] Experimental confirmation of role of magnetic filter to produce negative ions

〇(M1)Tatsuya Tanaka¹, Yuya Fujimoto¹, Haruhiko Himura¹, Akio Sanpei¹ (1.Kyoto Inst. Tech)

Keywords:magnetic filter, negative ions, electron temperature

エネルギーが揃えられた負イオンを用いる新しいナノプロセスを実験的に検証するために制作した装置では、負イオン生成のために磁気フィルターを用いている。アスペクト比とガス種の異なるイオン源において、磁気フィルターの上流側と下流側で負イオン生成に必要な電子温度2温度領域の形成を確認しようとしている。また、磁気フィルターに用いている磁場強度と負イオンの生成効率の関係を明らかにしようとしている。