[11p-Z07-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[11p-Z07-10] スパッタNbOx膜質制御による閾値スイッチング素子の検討

〇畠中 林太郎¹、森本 雅大¹、中村 颯汰¹、清水 智弘¹、伊藤 健¹、新宮原 正三¹ (1.関大シス理)

キーワード：閾値スイッチング, ニオブ酸化物

NbOx膜を用いた閾値スイッチング素子の実現を目指し、NbOx層の反応性スパッタ条件を様々に変えた試料を作成し、閾値スイッチング現象の発現とNbOxの膜質との相関をXPS分析等により調査した。