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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[11p-Z09-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

2020年9月11日(金) 12:45 〜 17:15 Z09

山端元音(NTT物性研)、多田宗弘(NEC)、遠藤和彦(産総研)

14:00 〜 14:15

[11p-Z09-4] [（再講演）11回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] シリコンMOSトランジスタにおける電子スピン共鳴下のチャージポンピング

〇堀匡寛¹、小野行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：界面欠陥, チャージポンピング, EDMR